FILTER (Ulpa & Hepa)
ULPA FILTER
EASY TO CONTROL FOR 0.1㎛ PARTICLE
0.12~0.17㎛
9.9995% OVER (DOP TEST)
특성 및 용도
- 0.12~0.17㎛ 입자 제어용
- 초기압력손실 9.5mmAq(0.35m/s)
- 프레임 내식성 향상
- Clean Room Class 1~100
- 반도체, LCD 제조 LINE의 Clean room 적용
구성재료 및 사용조건
| COMPONENTS | DESIGNATION |
|---|---|
| MEDIA | WATER PROOF MICRO GLASS FIBER |
| FRAME | ALUMINIUM |
| SEALER | SELF-EXTINGUISHING SEALANT |
| MAX. TEMP. | 650℃ |
| MAX. HUMIDITY | 100% RH |
※ REQUEST OF CONSULTATION FOR THE CASE OF MAX. TEMPERATURE EXCESS.
HEPA FILTER
0.3㎛ DOP EFFICIENCY
0.3㎛
9.9997% OVER (DOP TEST)
특성 및 용도
- 0.12~0.17㎛ 입자 제어용
- 초기압력손실 9.5mmAq(0.35m/s)
- 프레임 내식성 향상
- Clean Room Class 1~100
- 반도체, LCD 제조 LINE의 Clean room 적용
구성재료 및 사용조건
| COMPONENTS | DESIGNATION |
|---|---|
| MEDIA | WATER PROOF MICRO GLASS FIBER |
| FRAME | ALUMINIUM + ALUMINIUM FINISHING |
| SEALER | SELF-EXTINGUISHING SEALANT |
| MAX. TEMP. | 650℃ |
| MAX. HUMIDITY | 100% RH |
※ REQUEST OF CONSULTATION FOR THE CASE OF MAX. TEMPERATURE EXCESS.